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出展製品紹介

ヒューテック

ヒューテック

ヒューテック、ウェーハ全面を1秒以内で膜厚測定可能なシステムを開発

日本セミラボ

日本セミラボ

日本セミラボ、パターン認識機能を備える分光エリプソメーターの新製品「μSE-3000」

山下マテリアル 大電流配線向けFPC「Big Elec」のサンプル画像

山下マテリアル

山下マテリアル、200℃・1000時間の長期高温耐熱性を持つFPC

耐熱UV剥離テープ「SELFA」シリーズ(出所:積水化学工業)

積水化学工業

積水化学工業、UV照射で簡単に剥がせる後工程向けテープ材

SOIウェーハ(出所:セーレンKST)

セーレンKST

セーレンKST、SEMICON Japan 2022でSOIウェーハのサンプル展示

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡「JSM-IT800 <i>/<is>」

日本電子

日本電子、半導体製品向けセミインレンズ方式の電界放出形走査電子顕微鏡

高温用圧力センサー「ZT17(200℃対応)」

長野計器

長野計器、200℃計測に対応した半導体産業向け高温圧力センサー

微小部X線分析装置「XGT-9000 Expert」堀場製作所

堀場製作所

堀場製作所、ホウ素からの軽元素分析を実現した卓上型蛍光X線分析装置

オー・エイチ・ティー

オー・エイチ・ティー

オー・エイチ・ティー、「電気が見えるセンサー」を搭載した卓上型検査装置

CMPリテーナーリング(出所:UIS Technologies社)

UIS・TEC

UIS・TEC、マレーシアと台湾のCMP関連製品を紹介

従来の半導体集積回路との違い(出所:アオイ電子)

アオイ電子

微細化に代わる新たな技術革新へ、チップレット集積技術を発表

フォトレジストの一例 (出所:東京応化工業)

東京応化工業

東京応化工業、世界シェアトップクラスの半導体向けフォトレジスト

開発中の「Cabinex-EWT Ⅱ」 (出所:初田製作所)

初田製作所

初田製作所、開発中の自動消火装置「Cabinex-EWT Ⅱ」を出展

つばき DCブラシレスハイポイドモートル (出所:椿本チエイン)

椿本チエイン

椿本チエイン、38%の小型化と省電力化を実現したDCブラシレスモーター

ハイブリッドボンダー「TFC-6700」 (出所:芝浦メカトロニクス)

芝浦メカトロニクス

芝浦メカトロニクス、超高精度実装を実現するハイブリッドボンダー

ヴュオールイメージング、400℃まで計測可能な顕微鏡サーモグラフィー

ヴュオールイメージング

ヴュオールイメージング、400℃まで計測可能な顕微鏡サーモグラフィー

シート抵抗測定システム「Filmetrics R50-200」 (出所:フィルメトリクス)

フィルメトリクス

フィルメトリクス、シート抵抗測定システムの新製品「R50」

3M 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ(出所:スリーエム ジャパン)

スリーエム ジャパン

スリーエム ジャパン、金属イオンを50ppt以下に低減する除去フィルター

左:デスクトップアライナー / 右:オートマチックタイトラ(出所:大日本科研)

大日本科研

大日本科研、卓上型アライナーやフォトマスクを使用しないタイトラーの新製品

温度補正付小型カルマン渦流量計「MODEL FML-300 SERIES」 (出所:コフロック)

コフロック

コフロック、世界初となる温度補正付カルマン渦流量計

高精度ウェーハ厚分布測定器「TMS-2000」 (出所:santec)

santec

santec、高精度ウェーハ厚分布測定器「TMS-2000」をお披露目

同時開催イベント

APCS 2022
FLEX Japan 2022
SEMICON Japan Video Report

 

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