スリーエム ジャパン、金属イオンを50ppt以下に低減する除去フィルター
3M 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ
（出所：スリーエム ジャパン）
スリーエム ジャパン フィルター製品事業部は、SEMICON Japan 2022に出展します。ブースでは、半導体をはじめとする電子業界に向けて開発した新製品「3M 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ」を紹介します。同製品は、強酸性陽イオン交換樹脂またはキレート樹脂と、ポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
MIPシリーズは、強酸性陽イオン交換樹脂を使った「SCPシリーズ」と、キレート樹脂を使った「APPシリーズ」があります。いずれも、半導体製造工程で必要になる薬液中の金属イオンを、50ppt以下（同社調べ）のレベルまで低減します。主に、リソグラフィー工程で使用されるPGMEAなどの溶媒や、BARCなどの薬液、半導体向け材料の金属除去といった用途を想定しています。
また、ろ材と液体が長く接触するデプス構造（厚みのある構造）にすることで、メンブレンタイプのイオン交換膜フィルターに比べて、数倍のイオン交換容量を持ち、安定した金属除去性能を発揮するといいます。さらに、独自の製造方法により、イオン交換樹脂と比べて製品自体からの金属溶出も少なく、前処理時間の短縮と作業の簡易化に貢献するということです。
（ライター 森元 美稀）