堀場製作所、ホウ素からの軽元素分析を実現した卓上型蛍光X線分析装置
微小部X線分析装置「XGT-9000 Expert」
（出所：堀場製作所）
堀場製作所（京都府京都市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。実機展示を予定している微小部X線分析装置の「XGT-9000シリーズ」は、材料中の元素の定性・定量分析に向けた製品です。はやぶさ2プロジェクトの小惑星「リュウグウ」が採取した砂の分析や、詩人の宮沢賢治が昭和初期に書いたとされる草稿の真贋分析に活用されたことでも話題となりました。半導体分野では、金属薄膜の膜厚や、実装部品内部の微小異物分析などに使用します。
同シリーズの新製品「XGT-9000 Pro」と「XGT-9000 Expert」は、検出器の改良と、信号処理を高速化する独自アルゴリズムの採用で、分析時間を大幅に短縮します。また、「XGT-9000 Expert」は卓上型のエネルギー分散型蛍光X線分析装置として、ホウ素（B）からの軽元素分析を世界で初めて（2022年9月同社調べ）実現しました。これにより、従来は複数の装置が必要だった酸化物や窒化物、有機物などの分析が1台で実施可能になりました。
SEMICON Japan 2022では、XGT-9000シリーズ、プラズマ発光モニター「EV2.0 Series」、装置組込みタイプの放射温度計「IT-270」ほか、各種半導体関連ソリューションの展示を行います。併せて、3本の無料セミナーを開催する予定です。
（ライター 森元 美稀）