積水化学工業、UV照射で簡単に剥がせる後工程向けテープ材
耐熱UV剥離テープ「SELFA」シリーズ（出所：積水化学工業）
積水化学工業（東京都港区）は、SEMICON Japan 2022と同時開催する後工程技術に特化した大型イベント「Advanced Packaging and Chiplet Summit（APCS）2022」に出展します。APCS 2022では、UV剥離テープ「SELFA（セルファ）」シリーズなどを紹介します。
SELFAシリーズは、高い接着性と剥離しやすさを両立したUV剥離テープで、熱工程後の残渣レスを実現しています。両面タイプの「SELFA HWシリーズ」は、ウェーハサポートシステム向けのテンポラリーボンディング材です。UV照射によって、テープと被着体の間にガスが発生することで接着力をなくすため、ウェーハにダメージを与えない加工が可能になります。高耐熱性と耐薬品性を持つほか、テープ式のガラスサポートシステムを実現したことにより、ハンドリング性が向上します。
片面タイプの「SELFA HSシリーズ」は、高耐熱性と耐薬品性を持ち、パッケージ製造におけるリフローなど、熱工程時のデバイス保護に役立ちます。このほかにも、めっき工程時の裏面保護用テープ「SELFA MPシリーズ」などをラインナップしています。
（ライター 森元 美稀）