フィルメトリクス、シート抵抗測定システムの新製品「R50」
シート抵抗測定システム「Filmetrics R50-200」
（出所：フィルメトリクス）
フィルメトリクス（神奈川県横浜市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。同社は、米KLA社のFilmetrics製品を中心に、膜厚測定や表面形状測定、シート抵抗測定のシステムなどの販売、保守、関連ソフトウエアの開発を手がけています。
新製品の「Filmetrics R50」は、シート抵抗測定システムで、金属膜の均一性や成膜品質、その他プロセスの評価に向けた製品です。R50には、4探針方式（接触式）の「R50-4PP」と、過電流方式（非接触式）の「R50-EC」があります。R50-4PPは10Ω/sq以上の薄い金属膜やイオン注入層の測定に、R50-ECは厚みがあって導電率の高い金属膜や、表面がやわらかいサンプルの測定に適しています。
膜厚測定システム「Filmetrics F50」は、ウェーハ上の酸化膜やレジスト、化合物といった半導体材料の膜厚測定に向けた製品です。最大450mmのウェーハに対応し、光干渉法をもとに、透明もしくは半透明膜の膜厚、屈折率、消衰係数を1ポイント1秒程度で測定することができます。SEMICON Japan 2022では、R50とF50のほかにも、膜厚測定システムや3次元表面形状測定システム、基板厚測定システムを紹介する予定です。
（ライター 森元 美稀）