初田製作所、開発中の自動消火装置「Cabinex-EWT Ⅱ」を出展
開発中の「Cabinex-EWT Ⅱ」
（出所：初田製作所）
初田製作所（大阪府枚方市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。1902年創業の同社は、各種消火器や消防設備、自動消火システムといった製品の製造・販売からメンテナンス、損害保険代理店業まで、火災から人命や文化財を守るトータルサービスを手がけています。半導体分野では、主に自動消火装置が使われています。
SEMICON Japan 2022には、開発中の半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ製造ライン向けCO2自動消火装置「Cabinex-EWT Ⅱ」を出展します。同製品は、海外の火災予防規格（FM規格）認証を取得している「Cabinex-EWT」の上位互換品です。従来品に比べて3倍となる、最大96台のセンサーが接続可能になりました。併せて、消火ノズルを小型化し、センサーと起動装置をグループに分けて、特定の区間のみに消火剤を放出できるようになりました。これにより、多様化、多角化する半導体製造装置にも適用しやすくなり、他区間の汚染も防いで、装置の早期復旧が可能になります。
このほかには、半導体・工作機械向けのCO2自動消火装置「Cabinex-EN2」や、CO2消火の原理・放射シーン等についても紹介し、消火ガスの放出デモを行う予定です。同社の担当者は、来場者の意見が聞ける場としても期待しているとのことです。
（ライター 森元 美稀）