セーレンKST、SEMICON Japan 2022でSOIウェーハのサンプル展示
SOIウェーハ（出所：セーレンKST）
セーレンKST（福井県福井市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。同社は、1998年の創業以来、シリコンウェーハの成膜加工専業メーカーとして、幅広い膜厚に対応した熱酸化膜加工を担ってきました。近年では、パワー半導体やMEMS市場向けに、SOI（Silicon On Insulator）ウェーハの生産体制を強化しています。
同社は、4、6、8インチのSOIウェーハを生産しており、試作から量産まで対応します。一般的なSOIウェーハだけでなく、支持基板にキャビティ加工を施した「Cavity-SOI」や、独自の超厚膜熱酸化膜加工を利用して厚いBOX層を持たせた「Thick-BOX SOI」なども提供しています。また、ウェーハの仕様や厚み（活性層/BOX層/支持層）のカスタマイズ、指定した支給材や加工済みウェーハでのSOI化加工も可能です。
SEMICON Japan 2022では、基本的な構成からなる「Normal-SOI」に加え、「Cavity-SOI」、活性層が2層で構成される「Double-SOI」のサンプル展示および各種技術紹介を行います。
（ライター 森元 美稀）