santec、高精度ウェーハ厚分布測定器「TMS-2000」をお披露目
高精度ウェーハ厚分布測定器「TMS-2000」
（出所：santec）
santec（愛知県小牧市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。1979年創業の同社は、光技術を応用した製品開発を行っており、1988年には、波長可変半導体レーザー光源を世界で初めて（同社）製品化しました。ブースでは、2022年12月1日に発表した新製品の高精度ウェーハ厚分布測定器「TMS-2000」の実機を展示します。
TMS-2000は、高速波長可変レーザーの技術を干渉計測に応用しており、ウェーハの厚み分布を非接触で計測します。SEMI規格に準拠した平坦度を、グローバル、サイト、エッジごとに1nmの精度で計測可能です。温度変動や振動といった環境の変化を受けにくい構成を実現し、特別な温度管理や振動対策を不要にしました。こうしてシンプルな構成が可能となったことにより、卓上サイズまで小型化することができました。また、各パラメーターの計測が30秒〜2分程度で完了するのも特徴です。インライン検査も含めて、幅広いアプリケーションへの導入が可能になるといいます。
TMS-2000には、専用の計測・解析アプリケーションが付属します。厚みのマッピングやラインプロファイル解析のほか、SEMI規格に準拠した平坦度パラメーターを統計的に解析したり、データを任意の形式で表示・出力したりできます。指定した2枚のウェーハの厚み差分も解析可能で、研磨加工のプロセスモニターとしても使えるということです。
（ライター 森元 美稀）