日本セミラボ、パターン認識機能を備える分光エリプソメーターの新製品「μSE-3000」
インライン分光エリプソメーター「μSE-3000」（出所：日本セミラボ）
Semilab Semiconductor Physics Laboratory（ハンガリー）の日本法人である日本セミラボ（神奈川県横浜市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。同社は、半導体測定装置や太陽電池評価装置の販売・技術サービスを提供しています。
今回出展する製品のひとつは、分光エリプソメーターの新製品「μSE-3000」です。μSE-3000は、パターン認識機能を備えた膜厚測定装置で、成膜プロセスにおいて薄膜膜厚と光学特性（屈折率N/消衰係数K）を測定することができます。新たな回転補償子法を採用したことにより、従来のエリプソメーターでは評価が難しかった薄膜や多層膜などのサンプル構造における測定精度が向上しました。また、紫外領域〜近赤外領域までの広い波長領域をカバーした高精度な測定を実現するほか、SECS/GEM規格にも対応しており、インライン製造プロセスで使用することができます。
SEMICON Japan 2022では、分光エリプソメーターのほか、製品ウェーハの注入プロセスでインラインモニタリングが可能なイオン注入ドーズモニター「PMR-3000」や、15nmレベルの転位欠陥を可視化できる非破壊・非接触の半導体検査装置「EnVision」、自動ライフタイム測定装置「WTシリーズ」などを紹介する予定です。