大日本科研、卓上型アライナーやフォトマスクを使用しないタイトラーの新製品
左：デスクトップアライナー / 右：オートマチックタイトラ
（出所：大日本科研）
大日本科研（京都府向日市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。1967年創業の同社は、半導体や電子部品向けの露光装置を中心に、設計からメンテナンスまで一貫したサービスを提供しています。
新製品の「オートマチックタイトラ」は、フォトマスクを使用せずにパターンデータを直接露光します。レーザー方式ではなく、フォトプロセスでタイトリングするため、発塵しないのが特徴です。ストライプ幅と角度を自在に調整可能なストライプ文字にも対応するなど、自由度の高いタイトリングができます。また、2次元コード露光や周辺露光、バーコードリーダー運用といったオプションも用意しています。
「デスクトップアライナー」は、実験や研究用途に向けた卓上型のアライナーです。ランプハウスの光源にはLEDを採用しており、直径4インチまでの基板サイズに対応します。完全マニュアル操作にすることで価格を抑えました。SEMICON Japan 2022では、デスクトップアライナーの実機展示も予定しているほか、ローダー・アンローダーを備えるマスクアライナーや、フォトマスクを使用しないマスクレス露光装置など各種露光装置をパネルと動画で紹介します。
（ライター 森元 美稀）