ヴュオールイメージング、400℃まで計測可能な顕微鏡サーモグラフィー
顕微鏡サーモグラフィーカメラ「XMCR32-XA0351-1XHT」
（出所：ヴュオールイメージング）
ヴュオールイメージング（東京都武蔵野市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。同社は、サーモグラフィーシステムや、画像計測ソリューションの開発などを手がけています。
「サーマルヴューX MCRシリーズ」は、ミクロンレベルで熱画像を取得できるシステムです。汎用規格にも対応するサーモグラフィー用の統合ソフトウエア「サーマルヴューX APP」と、高精細なサーモグラフィーカメラを組み合わせることで、熱電対や一般的なサーモグラフィーでは計測できない微細な製品の温度評価を可能にします。ミクロンレベル特有の計測誤差を、独自のキャリブレーションと補正技術で抑え、計測精度を高めているのが特徴です。
非冷却型のセンサーを用いたサーモグラフィーカメラ「XMCR32-XA0351-1XHT」は、1画素17μmの領域をとらえ、400℃まで計測することができます。サーマルヴューX APPは、標準機能をもつ「Type-S」と、時間や温度単位の経過、最高・最低温度フレームの検出などが可能な動画分析向けの「Type-R」、両タイプに加えて差分熱画像の出力ができる「Type-D」があります。SEMICON Japan 2022では、サーマルヴューX MCRシリーズの展示と、サーマルヴューX APP TYPEｰRを使ったデモンストレーションほか、最新のサーモグラフィーシステムを紹介する予定です。
（ライター 森元 美稀）