オー・エイチ・ティー、「電気が見えるセンサー」を搭載した卓上型検査装置
卓上顕微鏡型検査装置「EPIScope」
（出所：オー・エイチ・ティー）
非接触検査装置を手がけるオー・エイチ・ティー（広島県福山市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。今回、回路に流れる電流を可視化するシステム「EPIS」に、観察用CCDカメラを組み合わせた新たな検査装置「EPIScope」を発表します。
EPISは、マトリックス状に微細な電極を配置した静電容量式センサーを用いる組み込み型の検査システムで、被写体の電位分布や電位の変化・高低差などを二次元画像で表示します。例えば、プリント基板のオープン/ショート検査に適用する場合、プリント基板の配線に電圧をかけてセンシングし、光学画像検査では見つけにくい不良位置を特定することができます。電気的な差を検出するため、汚れや異物（絶縁体）の影響も受けません。
新製品「EPIScope」は、手軽にEPISを使えるようにした卓上顕微鏡型の検査装置です。同社によると、もっと簡易的にEPISを使いたいという要望は多く、検証用に用意した卓上型のデモ機を購入したいという声もあったことから、製品化を決めました。SEMICON Japan 2022では実機を展示し、さまざまな分野の来場者に見てもらうことで、新たな用途の発見にも期待しているとのことです。
（ライター 森元 美稀）