日本電子、半導体製品向けセミインレンズ方式の電界放出形走査電子顕微鏡
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡「JSM-IT800 <i>/<is>」
（出所：日本電子）
理科学・計測機器や半導体関連機器等を手がける日本電子（東京都昭島市）は、SEMICON Japan 2022に出展し、ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡「JSM-IT800 」などを展示します。
走査電子顕微鏡（SEM）は、ナノテクノロジーや半導体、生物学の分野などで幅広く使用され、用途も基礎研究から製造現場、品質管理まで広がっています。JSM-IT800は、高分解能観察を実現するための「インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃」や、次世代型電子光学制御システム「Neo Engine」といった共通のプラットフォームをベースに、SEMの対物レンズをモジュール化することで、用途に応じた製品を選択しやすくしました。
最新の「i」「is」シリーズは、半導体デバイスの観察に適したセミインレンズ方式を採用しています。さらに、試料から発生する低エネルギー2次電子を効率よく収集し、その電子を上方インレンズ検出器（UID）で検出することにより、半導体デバイスの不良解析で必要な、傾斜した試料や断面試料の高分解能観察や分析を可能にします。また、シンチレーター反射電子検出器（SBED）を搭載すれば、従来の検出器に比べて、応答性や検出感度を向上させることができます。SEMICON Japan 2022では、8インチウェーハを観察可能な大型ステージを搭載し、自動観察機能やカソードルミネッセンス（CL）測定の実機によるファンクションデモも行う予定です。
（ライター 森元 美稀）