アイクリスタル(株)

Hall5（東5ホール内ステージ）

近年、製造データやシミュレーションデータ、それらを学習したAIとを有効活用する情報技術として、プロセスインフォマティクスが注目されています。本講演では、半導体製造におけるプロセスインフォマティクスの最新動向について、事例を交えながらご紹介します。