Axcelis Technologies パワーデバイス製造 イオン注入技術 2024/12/12(木) | 15:30 - 15:50 Hall5（東5ホール内ステージ）[1] Silicon 又は 炭化ケイ素 (SiC) パワー半導体向けの装置ラインアップ、[2] SiC向けにはAlイオンソースと生産性について、[3] Si IGBTについては搬送系の特徴とH+注入について
