SilcoTek(同) 半導体製造における、材料高性能化のためのコーティング技術 2024/12/12(木) | 15:00 - 15:20 Hall5（東5ホール内ステージ）コーティングは低コストな材料の有用性を向上できる為、半導体製造全体で使用されています。近年、コーティングは高価な合金の使用を削減できる技術として実用例が増えておりますので、講演にて詳細をご紹介します。＜事例＞エッチングガス供給、スクラバー、各種腐食制御、エピ チャンバー加熱、エピ プロセス腐食制御
