(株)堀場エステック

データを駆使する！エッチング・成膜プロセスにおける計測制御技術とデータ活用術

2024/12/12(木) | 14:30 - 15:20

高度なプロセスコントロールには、高精度かつ膨大な計測データを収集する
必要があります。HORIBAが提供できる豊富な製品とデータの紹介に加え、
歩留まり改善や異常検知への活用事例をご紹介します。