六甲電子(株) 樹脂接合・SiC8インチ・LTLN薄化加工 2024/12/11(水) | 12:00 - 12:20 Hall5(東5ホール内ステージ)6・8インチ樹脂接合、SiC6・8インチ、LTLN4・6インチの薄化・BG・CMP・RCA洗浄などについてのご説明