APCSテクノロジーⅡ ガラス基板

Satoru Kuramochi received the B.E.degrees and M.E.degrees in image science engineering from Chiba University japan, in 1987 and 1989, respectively. He joined Research and Development Center, Dai Nippon Printing Corporation, Japan in 1989. He specializes in the fine pattern processes for high density packaging substrate. He holds 51 patents, has published 30 technical papers concerning to high density substrate technologies.

チップレットに代表されるアドバンスドパッケージングでは、その剛性、平坦性、形状安定性より、工程部材やサブストレートの基材としてガラスの使用が注目されている。本講演ではアドバンスドパッケージングに用いられるガラスキャリアやガラスコア基板の為のガラスの材料技術や加工技術について概説する。