2022年11月18日（金）
最近のEHS規制動向と半導体製造装置及び関連する電子電気製品およびサプライチェーンへの影響について
SEMIジャパン
はじめに
半導体は高集積化、高機能化、高性能化の歴史の中で、次々と新規の化学物質を採用してきました。1985年には、わずか11種類の元素しか半導体には使用されていませんでしたが、現在では約50種類の元素が使用されています。多様化する半導体材料の中には、毒性や可燃性、あるいは温室効果などの環境への影響等の危険有害性のあるものもあり、例えば2006年の欧州RoHS指令による鉛規制などに対し、業界は代替技術・材料の開発に多大な努力をしてきました。
化学物質の規制強化
近年、世界各国で環境法規制が強化され、その中でも化学物質規制はますます規制が厳しくなっていています。特にPFASと言われるフッ素化合物を含め、今まではそれぞれの物質単位での危険有害性が評価され、規制がかけられてきましたが、最近の傾向として、炭素数の異なる類似物質をグループ化して規制をかける動向が特に欧米で活発になり、半導体製造装置業界含め、さまざまな業界への影響も大きくなっています。このように法規制への対応も複雑化していることから、原材料から最終製品の製造・廃棄までのすべての工程で必要な情報を共有し対応を進める必要があり、サプライチェーン全体の協力が必要不可欠となりつつあります。
SEMIの取り組み
SEMIは半導体製造に関わる材料・部品・装置を扱う企業を中心とするグローバルな工業会です。世界で2,500社以上、国内350社のSEMI会員が活動にかかわっています。中でも、化学物質規制等に対応したEHS活動は、SEMIにおいて、重要な取り組みの1つと認識しています。SEMIは、各種法規制ごと（図1参照）にグローバルにワーキンググループを構成し、国内外問わずSEMI会員であれば、これら活動に参加が可能です。SEMIは、個社では解決できない問題や課題について、複数社で集まり、皆で解決を導くプラットフォームを提供しています。各ワーキンググループでは、対象の化学物規制に関する情報の収集や調査、協議をすることで、法規制が正式に出る前にグローバルな業界団体SEMIとして規制内容の変更や特定部位への使用おける免除を求める意見書を作成し、規制当局へ提出することで、業界へのインパクトが少なくなるよう働きかけます。法規制を施行する側は必ずしもあらゆる業界の状況を把握しているわけではないので、業界団体の意見を伝える事はとても意義があると考えています。
図1 各種法規制
国際EHS規制適合セミナー開催のお知らせ
2022年のSEMICON Japan期間中の12月15日（木）13:30~17:00の間、「国際EHS規制適合セミナー」を東京ビッグサイトの会場及びオンラインにて開催します。本セミナーでは、グローバルな業界団体であるSEMIの各種EHS関連法規制ワーキンググループにおけるアドボカシー活動の状況及び、最近の化学物質規制動向と半導体製造装置及び関連する電子電気製品への影響とEUの機械製品に関する規制動向について、最新の情報を紹介いたします。原材料から最終製品まで半導体サプライチェーンに関わる様々な企業の今後のビジネスに大きな影響を与える重要なテーマとなりますので、是非ご参加下さい。
国際EHS規制適合セミナー
最新のEHS規制動向と半導体製造装置及び
関連する電子電気製品およびサプライチェーンへの影響について
日時：2022年12月15日(木) 13:30 - 17:00
会場：東京ビッグサイト 会議棟605+606 および オンライン（Zoom）
参加費：
SEMI会員 11,000円（税込）※12月9日（金）までの事前予約割引価格、以降は一般価格
一般 22,000円（税込）