UIS・TEC、マレーシアと台湾のCMP関連製品を紹介
CMPリテーナーリング
（出所：UIS Technologies社）
マレーシアUIS Technologies社の日本法人であるUIS・TEC合同会社（茨城県牛久市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。
UIS Technologies社は、2002年にCMPエンジニアが創業したメーカーです。6インチ、8インチ、12インチのCMPリテーナーリングと、消耗部品の企画、開発、製造を行っています。鏡面加工を得意としており、あらゆるタイプのCMPリテーナーリングに適用できるといいます。2023年1月には、月産5000枚規模の生産能力を持つ工場がマレーシアのペナン州に完成し、世界的な需要拡大に対応する予定です。
SEMICON Japan 2022には、台湾Warde Tec社の製品や、台湾Digital Hope社のプリント基板（PCB）修理サービスも出展します。Warde Tec社では、半導体やTFT液晶に使用するスペアパーツの設計・製造、メンテナンスを行うほか、CMP関連部品の供給を行っています。最先端のCMP工程で何が行われているのか、その一部を紹介するということです。
（ライター 森元 美稀）