SEMICON Japan通信 2025 Vol.4

SEMICON Japan 2025

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MIS（Metrology & Inspection Summit）特集

2025年初開催！Metrology & Inspection Summit

AI時代の進展を支える半導体製造では、微細化やChipletなどの集積技術が加速していますが、これを実現するには高度な検査・計測技術が不可欠です。

SEMIジャパンは、Metrology & Inspection Summitを新設し、検査・計測分野の発展と協調領域での課題解決を推進。未来の半導体産業を支える基盤技術に光を当てます。

【開催概要】

会期：2025年12月17日 (水) 〜 19日 (金)
場所：東京ビッグサイト西1ホール
関連委員会：Metrology & Inspection Summit 実行推進委員会　

【カンファレンス】

【新設】Metrology & Inspectionの将来展望
 未来を測る！デバイス・装置・アナリスト、第一線のエキスパートが集結
2025/12/18(木) | 13:30 - 15:00
TheSUMMIT 会議棟7階　国際会議場
【新設】Metrology & Inspection x 産官学協同
 2nmを越えて: 日本の産官学協同研究開発最前線
2025/12/18(木) | 15:30 - 17:00
TechSTAGE SAKURA 会議棟 605-606

【関連セミナー】

STS計測・検査セッション
 先端デバイス向け計測・検査技術の最新動向
2025/12/18(木) | 09:30 - 11:30
南会議室B およびオンライン（Zoom）

近年の先端半導体デバイスでは、EUV適用の拡大やHigh-NA EUV導入による微細化が進んでいます。また、ロジックではGAA適用やCFET、裏面配線などの新構造・新材料の検討が、メモリでは新構造やさらなる3D化の検討が進んでいます。これらの製造プロセス管理には、従来以上に高精度・高感度かつ高速な計測・検査技術が求められています。さらに、汚染の分析・低減技術や、従来は困難だった材料特性のインラインモニター技術も必要になっています。これら最新の計測・検査・分析技術の動向をご講演いただきます。

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【ネットワーキングイベント】

M&IS Networking x STS GETOGETHER
〜リソグラフィ編〜
12月18日（木） 17:30～18:30

初開催のMetrology & Inspection SummitとSTS GETOGETHERの合同開催！
ドリンク・軽食をお楽しみながら、講演者や参加者の皆さま、関連ご出展企業との交流を深めて頂けます。
MISカンファレンスもしくはSTS先端リソグラフィセッションご参加の方限定のネットワーキングです。
詳細は各セミナー会場にてご確認ください。

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