東京応化工業、世界シェアトップクラスの半導体向けフォトレジスト
フォトレジストの一例
（出所：東京応化工業）
東京応化工業（神奈川県川崎市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。同社は、1968年に半導体用フォトレジストの国産化を実現した後、時代に合わせて高純度なフォトレジストや化学薬品の開発を続けてきました。2021年の合計販売数量（g/i線用、KrF用、 ArF用、EUV用フォトレジスト）をベースにした算出では、半導体用フォトレジストで世界一のシェアを有しているといいます（富士経済「2022年 半導体材料市場の現状と将来展望」をもとに同社にて算出）。
同社は、コア技術の一つ「微細加工技術」により、次世代プロセス向けEUV（極端紫外線）用フォトレジストを開発しています。そして、重要性が再認識されている高純度の化学薬品（洗浄液やシンナー、現像液）の開発では、もう一つのコア技術「高純度化技術」が活かされています。このほか、高機能携帯端末や電子部品の軽量化、薄型化、小型化に欠かせないパッケージ技術やMEMS製造技術を支えるための、各種実装プロセスに適したフォトレジストや装置を開発しています。
SEMICON Japan 2022では、前工程・後工程・装置のパネル展示を行います。前工程と後工程は各種フォトレジストを中心に、装置は半導体用コーター、低温アッシング装置、高効率UVキュア装置、テンポラリーボンディングを紹介する予定です。
（ライター 森元 美稀）