長野計器、200℃計測に対応した半導体産業向け高温圧力センサー
高温用圧力センサー「ZT17（200℃対応）」
（出所：長野計器）
長野計器（東京都大田区）は、SEMICON Japan 2022に出展します。1896年創業の同社は、圧力計測の歴史が長く、2016年には「分銅式標準圧力計」が重要科学技術史資料（未来技術遺産）に登録されました。SEMICON Japan 2022では、半導体産業向け圧力センサー「ZT11」や「ZT17（200℃対応）」を紹介します。
蒸着形半導体歪ゲージを用いた圧力センサー「ZT11」は、ゼロ点調整機構をケース側面に設けて作業効率を高めたほか、従来品に比べて温度特性が向上しました。 ゲージ圧（正圧・連成）レンジに加えて、絶対圧レンジ対応品をラインナップしています。
高温用圧力センサー「ZT17」は、センサー部と専用アンプで構成する製品で、120℃の高温流体を直接計測することができます。半導体ガス供給系に適応する溶接構造と特殊な表面処理技術により、測定ガスの滞留を抑えます。
新開発の圧力センサー素子を備える新製品「ZT17（200℃対応）」は、200℃の計測を可能にし、半導体製造プロセスの高温用途に対応します。従来品に比べて高精度な高温計測を実現しており、洗浄装置における超臨界流体の圧力計測や、エッチング装置、成膜装置における個体原料の気化温度上昇が伴う高温環境下などで使用可能です。
（ライター 森元 美稀）