コフロック、世界初となる温度補正付カルマン渦流量計
温度補正付小型カルマン渦流量計「MODEL FML-300 SERIES」
（出所：コフロック）
コフロック（京都府京田辺市）は、SEMICON Japan 2022に出展します。1949年創業の同社は、気体や液体の流量計測・制御技術を活かした装置の開発、製造、販売を手がけています。ブースでは、「世界初」（同社）の新製品として、温度補正付小型カルマン渦流量計を紹介します。
一般に、カルマン渦流量計は、流体温度が常温でないと正確な流量を計測することができません。例えば、半導体製造工程の中で、洗浄液は少ない液量で効率よく洗浄するため加熱して使用します。この場合、常温との温度差により、実際の流量値と計測値に誤差が生じます。冷却水の場合も、冷却の前後で異なる温度の水を使うため、誤差が生じます。
温度補正付小型カルマン渦流量計「MODEL FML-300 SERIES」は、流路の中に温度センサーを備えているのが特徴です。温度センサーで流体温度を監視し、温度変化に応じて計測誤差を自動補正することにより、高精度な流量計測を実現します。さらに、従来品よりも小型になり、IP65相当の防水性も備えました。また、接液部はすべて高純度フッ素樹脂（New PFA）のため、強酸や強アルカリの薬液でも計測可能になっています。
（ライター 森元 美稀）