インフィコン：半導体工場のオペレーションとプロセスの最適化を実現する最新ツール

【センシング】プロセス中の異常を検出する新しいセンサー『ＡＵＧＥＮＴ』では、不良要因のキーワード「リーク」のがもたらす数々の品質不良に対し、エッチング、CVD、スパッタ等あらゆるアプリケーションで活用できる、毎ウェハでリアルタイムに検出可能な新しいリークセンサのご紹介を致します。 

【コネクト＆プレディクト】生産管理最適化ツール『ＦＰＳ』では、出来高優先、コスト優先、納期優先など、目まぐるしく変化する生産要件を容易に設定し、搬送を含めた生産スケジューリング実行を行います。今回は車載品質ゼロディフェクト対応、需要変化への追従など、最新機能の適用状況をご紹介します。 

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