パナソニックスマートファクトリーソリューションズ：プラズマ処理装置APX300シリーズのご紹介 （ドライエッチング/プラズマダイシング）

プラズマ処理装置APX300シリーズのご紹介 （ドライエッチング/プラズマダイシング）

1. APX300-S：３種類の独自プラズマ源と後処理チャンバーにより、各種ドライエッチング工程に対応
2. APX300：独自のマルチESC電極による高速・高均一なバッチ処理エッチングが可能
3. APX300-DM：様々なデバイスに対応可能なプラズマダイシング・トータルプロセスソリューションをご提案

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