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パナソニックスマートファクトリーソリューションズ:プラズマ処理装置APX300シリーズのご紹介 (ドライエッチング/プラズマダイシング)

2020/12/17(木) | 11:00 - 11:30

プラズマ処理装置APX300シリーズのご紹介 (ドライエッチング/プラズマダイシング)

  1. APX300-S:3種類の独自プラズマ源と後処理チャンバーにより、各種ドライエッチング工程に対応
  2. APX300:独自のマルチESC電極による高速・高均一なバッチ処理エッチングが可能
  3. APX300-DM:様々なデバイスに対応可能なプラズマダイシング・トータルプロセスソリューションをご提案

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