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日立ハイテク:ミラー電子式検査装置 Mirelis VM1000を用いた非破壊ウェーハ品質管理

2020/12/16(水) | 11:30 - 12:00

電子線を試料に当てることなく、ウェーハ内部の結晶欠陥を検出出来る技術。
既存 電子顕微鏡の概念とは大きく異なる新技術の原理・特長、および 本技術を用いたSiC,GaN,Ga2O3半導体用ウェーハの非破壊検査事例をご紹介します。
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