STS Session 7 マイクロシステム・MEMS（2）

世界に拡がる日本のMEMS

国内の企業・大学から計8件の発表です。内訳としては、企業からは、バイオチップ、Siマイク、赤外線センサ、ガスセンサの4件。大学からは、圧電素子、スイッチ、ワイアレスセンサの3件。調査会社から市場分析1件です。

     

セッションチェア：

東北大学
江刺 正喜

東京エレクトロン（株）
円城寺 啓一

開催日：

2011年12月9日（金）

時   間：

14:00-17:00

場   所：

幕張メッセ国際会議場　3F　301会議室

通   訳：

通訳なし

STS Session 7 マイクロシステム・MEMS（2）申込：
11月25日(金)まで 21,000円/ 11月26日(土)以降 25,000円
消費税別、資料事前ダウンロード付

 

申込

 

STS Session 6 & Session 7  マイクロシステム・MEMS（1）＆（2）
2セッション受講セット割引パッケージ：
11月25日(金)まで 34,000円/11月26日(土)以降42,000円
消費税別、資料事前ダウンロード付

 

申込

 

STS 3日間全11セッション受講 割引パッケージ：
11月25日(金)まで 72,000円/ 11月26日(土)以降 90,000円
消費税別、資料事前ダウンロード付

 

申込

 

学校関係者（含学生）特別価格
3,500円/1セッション
※他の割引パッケージ価格との併用はできません。

アジェンダ

 14:00-14:05  セッション紹介
   
14:05-14:25

MEMSアコースティックセンサチップ

オムロン(株)
マイクロデバイス事業部開発部MEMS開発課 課長
髙橋 敏幸

 

独自のデバイス構造と生産技術の改良により創出した、世界トップクラスの小型化・高感度化、耐環境性と耐落下衝撃を実現したアコースティックセンサチップを紹介する。我々は薄膜応力制御技術と8インチウェハプロセス技術を用いて独自のダイアフラム構造を設計しアコースティックセンサチップを作製した。今回開発したアコースティックセンサチップを応用し、様々なアプリケーションを組み込む「聴覚センサモジュール」の開発も予定している。
14:25-14:45

民生用小型・高感度赤外線アレイセンサの開発

パナソニック電工(株)
制御機器本部　スイッチングデバイス事業部　センサ商品部
杉山 貴則

 

小型で高感度な8ｘ8画素のサーモパイル式赤外線アレイセンサを開発した。センサチップの各画素は厚み2μmの薄膜片持ち梁を6つ有し、54対のサーモパイルを形成している。画素ピッチは290μmで、MOS-FETとともに1チップに集積化されている。その結果、サイズ3mmx3mmの小型で高感度なセンサチップを実現し、ASIC、サーミスタとともに、SMDパッケージに実装することにより、パッケージサイズ11.6mm×8.0mm×4.3mmで、性能として雑音等価温度差(NETD)0.5℃を実現している。


14:45-15:05  コードレス都市ガス警報器用メタンセンサ

富士電機(株)
生産統括本部　東京事業所　機器生産センター　ファインテック機器部　ファインテック設計課 課長補佐
後藤 崇

 

富士電機では1980年代から都市ガス警報器の開発・販売を続けるとともに、シリコン半導体の設計・製造技術をベースにしたMEMSセンサを開発している。
講演では、富士電機のMEMS技術の紹介およびMEMSセンサ適用例として、現在開発中のコードレスガス警報器に搭載する薄膜メタンセンサについて述べる。
MEMS技術により、現行品の1/1000以下という低消費電力化を実現し、都市ガス警報器のコードレス化に貢献する。


15:05-15:25
マイクロ流体技術に基づくバイオセンサ・バイオシステム

ローム(株)
研究開発本部　ナノバイオニクス研究開発センター 副センター長
丹羽 大介

 

半導体・光技術とバイオテクノロジーを融合したバイオセンサ・システムの開発を行っている。このような技術融合は、今後のオンサイト・ヘルスケア診断のために大変有効な手段であると考えられる。我々はマイクロ流体をベースとした血液分析システム、免疫測定システムや表面プラズモンセンサを用いたにおいセンシングなどの技術開発に取り組んでいる。本講演ではマイクロ流体チップを中心にシステムの概要を紹介する。


15:25-15:45

MEMS技術を活用した超音波素子
千葉大学
工学研究科電気電子工学コース 教授
橋本 研也

 

薄膜バルク波共振子(FBAR)やMEMS発振器、微細加工超音波変換子(MUT)等に代表される様に、MEMS技術を活用した様々な超音波デバイスが研究され、既にいくつかは実用化されている。本講演では、これらの素子の概要を紹介するとともに、既存競合技術との比較により、それらの素子技術の特徴を明らかにする。特に、静電駆動と圧電駆動の特徴を比較し、各々に適した応用を明らかにする。
   
15:45-16:05

小型低消費電力身体活動モニタリングシステム
兵庫県立大学
大学院工学研究科 教授
前中 一介

 

現在、我々が進めているセンシング融合プロジェクトについて、その成果を交えて報告する。本プロジェクトでは、絆創膏のように身体に無拘束で装着でき、心電や運動、体表温度、その他各種の環境情報を継続的に取得するシステムの完成を目指している。現在、極めて低消費電力の無線モジュールや各種MEMSセンサ、超低消費電力のCMOS回路ブロックなどが実現できており、これらについて紹介すると共に、今後のこれらの小型融合化について述べる。また、先行して試作しているラージモデルを用いた身体データの取得結果例についても説明する。
   
16:05-16:25

ワイヤレス通信に期待されるシリコンMEMS共振器
立命館大学
理工学部マイクロ機械システム工学科 教授
鈴木 健一郎

 

MEMS技術を利用したシリコン共振器の開発が急速に進んでいる。シリコンMEMS共振器は
平面形状の設計変更により、種々の共振周波数をもつデバイスを作製することが可能であり、さらに、電子回路との集積化が容易であるという特徴がある。これらの特徴はワイヤレス通信携帯端末機器への応用に適しており、今後、MEMS共振器を利用した種々の新機能をもつシステムの開発が期待できる。
   
16:25-16:45 MEMS Entered Double Digit Growth Cycle
IHS iSuppli Japan(株)
副社長/主席アナリスト/ジャパンリサーチ
南川 明
   
16:45-17:00 オーサーズインタビュー
   

 

 

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