安全ワークショップ 工場における作業安全と自動搬送システム

－高所作業、装置・オーバーヘッド搬送システムインタフェースを中心として－

  • SEAJとSEMIで取り組んでいる事故事例のアンケート調査結果から見えてくる半導体工場における安全上の課題とは？
  • 半導体工場の大規模化、生産性向上、工場空間の有効利用の面から、半導体工場で空間搬送車が高速スピードで大活躍していますが、一方で作業者と空間搬送車との干渉リスクも増加しています。
  • 作業者の安全を守るためには、工学的手法、管理的手法の両面から安全化への方策を検討する必要があります。
  • その一助として、SEMI S17およびその他の安全ガイドラインを紹介し、それらの有効活用と工場における安全の改善をパネラーとともに討議します。

チェア：

インテル（株）　佐倉英俊
ムラテックオートメーション（株）　中島規雄

開催日：

2010年12月1日（水）

時間：

13:00–17:30

場所：

幕張メッセ 国際会議場 会議室

参加費用
（消費税込み）：

11月19日（金）まで　9,000円 / 11月20日（土）以降　12,000円

費用に含まれるもの：資料事前ダウンロード（お申込の方に11月29日（月）にダウンロード用のURLをEメールでお送りします。）
配付資料に、SEMI S17などの全文は含まれません。ご購入される場合は、「SEMIスタンダード（規格）出版物のご案内」をご参照ください。

通訳：

なし（日本語のみ）

お申込：

概要

半導体工場の大規模化、生産性向上、工場空間の有効利用の面から、半導体工場で使用される無人搬送車は現在空間搬送車が主役となっており、100台超規模の空間搬送車が運用される半導体工場も数多くあります。また、搬送スピードも高速化されてきています。そのような中、人身事故に至るリスクは特に半導体製造装置と搬送機との境界領域付近に存在する可能性が指摘されており、実際に装置設置、改造、サービス、メンテナンスを行う際、作業者と空間搬送車との干渉リスクが報告されています。これらリスクを低減し作業者の安全を担保するには、工学的手法、管理的手法の両面から安全化への方策を検討する必要があります。

本ワークショップでは、まず昨年よりSEAJとSEMIで取り組んでいる事故事例のアンケート調査結果を紹介し、半導体工場における事故の傾向を俯瞰します。次に、半導体工場における安全上の課題の一つとして空間搬送車通行ゾーン付近を取り上げ、半導体製造装置および搬送機サプライヤから観た安全懸念を共有した後、現在改訂活動中のSEMI S17「無人搬送台車（UTV）システムの安全ガイドライン」を中心に、SEMI S19*（安全トレーニング）、S21*（作業者保護）、S24*（複数企業同時作業エリアの安全）など安全ガイドラインを紹介して、それらの有効活用や改善について討議します。さらに、各ステークホルダー（ユーザ、装置サプライヤ、搬送機サプライヤ等）を代表するパネラーとともに、ファブにおける安全化をどのように実現していくべきかを共に考えたいと思います。

ご参考までに、SEMI S17の開発経緯や改訂活動の概要については紹介記事をご覧ください。

*正式タイトル
・SEMI S19　「半導体製造装置の設置、保守、サービス要員のトレーニングのための安全ガイドライン」
・SEMI S21　「作業者保護のための安全ガイドライン」
・SEMI S24　「複数企業同時作業エリアの安全ガイドライン」

アジェンダ

13:00-

開会の挨拶

13:05-

半導体工場内作業エリアでの安全懸念
～最近のSEAJ/SEMIによる事故事例アンケートから～
（社）日本半導体製造装置協会　EHS部会　安全専門委員会　委員長
東京エレクトロン（株）　鈴木 敏夫

13:35-

半導体工場での空間搬送車通行ゾーン付近での安全懸念 (1):
装置サプライヤの観点
大日本スクリーン製造（株）　西口 直克

14:05-

半導体工場での空間搬送車通行ゾーン付近での安全懸念 (2):
搬送機サプライヤの観点
（株）ダイフク　安次嶺 徹夫

14:35-

SEMI S17の概要と改訂動向
ムラテックオートメーション（株）　中島 規雄

15:25-

休憩

15:40-

作業安全関連SEMI安全ガイドラインの有効利用: SEMI S19、S21、S24
インテル（株）　佐倉 英俊

16:20-

パネルディスカッションとQ&A
装置サプライヤ、搬送機サプライヤ、ユーザはどのように協力すべきか
ファシリテーター　
テュフラインランドジャパン（株）　杉田 吉広

17:25-

閉会の挨拶

17:30

終了

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お得なプログラムパック商品のご案内

パック名称

パック内容

金額

SEMIスタンダード・プログラムパック
（S2、作業安全、450mm）

次の3プログラムのパックです。
（規格本文ではありません。）

左記3プログラム合計56,000円のところ、11月19日（金）までにお申込いただきますと、合計36,000円（20,000円のお得）

SEMI安全・プログラムパック
（S2、作業安全）

次の2プログラムのパックです。
（規格本文ではありません。）

左記2プログラム合計37,000円のところ、11月19日（金）までにお申込いただきますと、合計24,000円（17,000円のお得）

EHS＆安全・プログラムパック
（S2、作業安全、EHS規制適合、地球環境)

次の4プログラムのパックです。
（規格本文ではありません。）

左記4プログラム合計68,000円のところ、11月19日（金）までにお申込いただきますと、合計44,000円（24,000円のお得）

*上記プログラムパック商品をご利用の場合、1つ1つのプログラムの参加者が異なっても構いません。

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